润滑相关产品 -我们想在半导体制造装置上使用直线运动系统，在真空中使用AFB-LF润滑脂可行吗？_技术问题

#1楼刘柏宏

2022-12-01 11:21:25

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AFB-LF 是锂基润滑脂，如果在真空中使用，金属锂(Li)将会排放到真空中。AFB-LF润滑脂不能在真空中使用，因为粘附的灰尘会影响半导体装置的制造过程。建议使用真空用润滑脂。

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#2楼黄彦慈

2022-12-01 11:43:33

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我们选择丝杠的时候先假定一个型号。要考虑到它的临界转速和DN值。实际转速要根据使用情况而定。然后检查计算的寿命是否满客户期望的使用寿命。端面支撑的部分可被忽略。要想达到更理想的使用寿命可改变轴径再进行计算。

#3楼马月泉

2022-12-01 13:02:17

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花键套筒的材料是SCM415（LBS）或SUJ2（LT）。
花键轴的材料是THK5SP

#4楼萧芳仪

2022-12-01 13:06:51

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LM滚动导轨比硬规运动轻快，更适用于微动机械装置。在数控控制下，LM滚动导轨能实现精确的定位，也可以实现纳米定位。主要取决与驱动装置的精度。请注意倾斜和偏位会影响定位精度。